晶圆划裂解决计划主要适用于晶圆裂片机加工后,,,,,,,,用于检测Disco环上芯粒的漏划、离焦、未划开、双晶等较显着的划裂缺陷,,,,,,,,通过视觉缺陷检测,,,,,,,,检出有无包括以上缺陷即可,,,,,,,,即区分出良品和不良品,,,,,,,,镌汰人工,,,,,,,,提升检测效率。。。。。。



自主知识产权高精度高速光学成像系统,,,,,,,,确保优质的成像效果;;;;;
自有知识产权的缺陷检测焦点算法+AI深度学习复判算法,,,,,,,,处于业界领先水平。。。。。。

立异性接纳工字型防震扫描机构+大理石防震平台,,,,,,,,实现运行状态坚持平稳。。。。。。

独创后台自动报表剖析系统,,,,,,,,实现Mapping和报表输出。。。。。。

可视化数据备份和数据追溯,,,,,,,,自动图像分类,,,,,,,,利便用户盘问和审核;;;;;
装备可靠,,,,,,,,无故障事情时间长。。。。。。
