晶圆划裂AOI检查机

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晶圆划裂AOI检查机

晶圆划裂AOI检查机主要用于晶圆裂片机加工后，，，，，，，用于检测Disco环上芯粒的漏划、离焦、未划开、双晶等较显着的划裂缺陷，，，，，，，通过视觉缺陷检测，，，，，，，检出有无包括以上缺陷即可，，，，，，，即区分出良品和不良品，，，，，，，镌汰人工，，，，，，，提升检测效率。。。。。。。

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产品规格
产品信息

项目		性能指标
检测系统	检测规模（产品尺寸）	4寸料盒尺寸：222mm×215mm×145mm（L×W×H） Disco环尺寸:212(L) ×212(W)mm、Ø194（内圈）、Ø228（外圈)、1.2（厚度）mm 重量：空环 66.5g ，，，，，，，实重 86.5g（片重 20g）
	检测规模（产品尺寸）	6寸料盒尺寸：288mm×279mm×182mm（L×W×H） Disco环尺寸:212(L) ×212(W)mm、Ø194（内圈）、Ø228（外圈)、1.2（厚度）mm 重量：空环 154.5g，，，，，，，实重 224.5g（片重 70g）
	检测项目	漏划、离焦、未划开、双晶
	检测精度	3.5um
	漏检率	0.01%
	过检率	≤0.5%
	产能	≥4800pcs
	机台稼动率	≥90%
	换线时间	新机种切换时间：＜60 分钟
	换线时间	已有机种切换时间：＜30 分钟
其它参数	清静防护	清静光栅/清静门锁：用于职员清静防护
		FFU：用于清洁装备内部空间抵达千级、百级无尘室
		静电：与产品接触材质均为防静电材质，，，，，，，并配有离子风棒，，，，，，，以消除静电
	电源供应	AC 220V±10% 50~60Hz
	接地	整机接地恣意两点间的电阻＜5Ω
	离子规格	作业区域离子消逝速率<5sec；；；；；离子平衡电压为100V以内
	使用情形	温度：5~40℃
	使用情形	湿度：25~85%RH（无冷凝）
	机台内部温度	＜40℃
	正压气源	0.5~0.6MPa，，，，，，，由厂家提供接入端口
	负压气源	-80kpa，，，，，，，由厂家提供接入端口

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